（通讯员：陈明，郭强）10月7日晚，betway必威西汉姆联官网刘红教授受邀为2018级微电子科学与工程专业全体学生讲授《微电子导师大讲堂》第五讲——现代集成电路的可靠性挑战和加固技术。

刘红侠以集成电路基本组成器件“MOSFET”为例，从器件结构、材料组成和附加效应深入浅出地介绍了现代集成电路可靠性面临的挑战。她表示，随着集成电路的迅速发展，工艺水平逐渐进步，特征尺寸的缩小和栅氧化层的减薄使得横向电场和纵向电场成为影响器件可靠性的两个主要因素。同时，由于温度对器件的影响，研究可靠性问题对于集成电路来说具有重要意义。

特征尺寸缩短，平面器件短沟道效应严重，工艺改进的同时需要从结构上进行改进。刘红侠列举了目前国际上主流的可靠性加固技术，着重介绍了槽栅器件工艺，并从凹槽拐角、负结深度、衬底和沟道杂质浓度对槽栅器件特性的影响进行了系统分析。她指出，自对准工艺的槽栅器件能够和平面器件在版图和加工工艺上兼容，工艺难点是凹槽的深度控制和栅氧化层的制备。她强调，槽栅器件能够很好的抑制短沟道效应，但输出电流有所降低。因此，我们对加固技术的研究任重道远。

“刘老师的讲述深入浅出，内容紧贴我们的课程，又有科学前沿的拓展，让我们受益匪浅。”1814011班的黄茜同学在课后谈到。

据悉，为丰富学生知识体系，拓展专业视野，使学生更加深入了解学院科学研究方向，并提早为继续深造做好充足准备，betway必威西汉姆联官网从2020年秋季学期开始为大三两个专业本科生分别开设了《微电子导师大讲堂》和《集成电路导师大讲堂》课程。课程分别由包括院士、长江学者、杰青等在内的32名教授、博导担任主讲，主要介绍技术热点、学术前沿、学习与科研方法与思路等，助力betway必威西汉姆联官网多元化的人才培养。